【財訊快報／記者戴海茜報導】羅昇( 8374 )旗下資騰科技攜手友達( 2409 )旗下宇沛永續，透過晶圓外觀瞬檢量測機（AIE）與自主移動機器人（AMR），成功協助國內半導體產線在檢測與搬運兩大環節大幅升級。系統實際應用成果顯示，不僅搬運人力需求優化高達70%，減輕人工作業負擔，且搬運效率提升30%，更進一步確保檢測精度與產線穩定度，成為智慧製造的重要突破。

資騰總經理陳國榮表示，資騰的核心優勢是能深入理解客戶製程需求，並與技術領先的合作夥伴緊密整合，提供能立即創造產線價值的解決方案。這次的系統導入，不僅改善了檢測與搬運的效率瓶頸，也讓客戶同步提升生產力與良率。

在檢測方面，資騰與宇沛永續導入的晶圓外觀瞬檢量測機（AIE），能一次完成晶圓三大關鍵量測，包含直徑、面幅與缺陷檢測。檢測精度可達正負3微米，最小可辨識缺陷達40微米，等於為產線配備了一位「精密快速的AI檢測員」。這項技術不僅讓檢測速度提升50%以上，也能大幅降低誤判，協助工廠有效控管品質並提升良率。

在搬運流程方面，則導入自主移動機器人（AMR）結合車隊管理系統（FMS），全面取代過去仰賴人力的物料搬運。系統能智慧規劃路線並精準定位，誤差控制在正負10毫米內，並支援極高潔淨度環境（class 1）與80公分窄型走廊，實現高彈性佈局與全天候穩定運行。