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解決Warpage痛點,工研院攜手山太士,秀大型玻璃基板TBDB材料解方
2025/9/10 10:15

【財訊快報/記者李純君報導】高階封裝技術持續推進,然Warpage問題卻是各家廠商之痛,尤其更是本次SEMICON TAIWAN 2025熱議的焦點,而在本次展覽中,可見工研院祭出的解方,就是山太士(3595)的大型玻璃基板TBDB材料,並獲得關注。
在工研院的展出中,出現山太士展示的雙面RDL線路玻璃基板先晶片製程TBDB材料,該材料的特色,捨棄過去12吋晶圓塗烤過程,以直接貼合的方式,達到大面積玻璃基本均勻,快速的製程要求。
然過去,傳統現晶片製程製作,必須先塗雷射解離膠,進行兩次烘烤,再進行黏著膠塗佈,經過兩次烘烤之後再進行晶片貼著固定。對於大型玻璃基板,產生塗佈不均勻及長時間烘烤耗能問題。以現行製程每小時僅能產出二至三片晶圓,明顯不具效益。
而工研院本次展出的大型玻璃基板新的製程技術,即是採用山太士新型材料,特色是僅需進行貼合,植晶,即完成所有製程,大量縮短烘烤時間,節能,同時縮小設備面積。
山太士分析,傳統TBDB製程每小時二到三片晶圓產出可以提升至10至15片,可大量節省FOPLP資本投資,同時解決大面積塗佈均勻性的痛點。而山太士本次,除了山太士在FOPLP除了展示抗翹曲材料,也有其他新產品,主訴大面積玻璃基板製作工藝簡化,高效,節能,推進FOPLP量產時程。
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