【財訊快報／記者李純君報導】興櫃半導體設備商鋒魁科技(7530)今日舉行技術發表會，結合AI與ESG趨勢的全新一代V-pro智慧真空幫浦與EcoNanoPur智慧納淨節能系統，正式亮相，公司並樂觀期待新機在未來帶入的營運成長動能。

鋒魁表示，此次發表聚焦於智慧預測、碳管理與節能減排三大核心價值，也是公司在智慧製造與永續轉型上的全面佈局。首先在V-pro部分，是鋒魁的旗艦級智慧幫浦系統，首度將AI診斷、預測性維護、碳排計算與不斷電保護功能整合於單一平台，全面提升設備智慧化與ESG能力。

而內建的Forward PHM AI系統，可即時整合三軸高頻感測器數據，透過31種頻域與時域特徵交叉比對，精準預測如軸承老化、轉子不平衡、冷卻異常等18種常見異常。並採用邊緣運算架構，即使在無網路狀態下也可於HMI端即時顯示預警結果，協助現場人員提前24-48小時介入處置，避免高額報廢與非預期停機。

此外，V-pro同時為可自動計算碳排放量的真空幫浦，可根據即時電力消耗結合碳排係數，精準換算CO2e排放當量，並同步顯示累積運轉時間與碳排數值。協助企業提前掌握碳足跡，強化碳費制度、ESG檢核與永續報告的合規性與即時性。

再者，V-pro搭載內建6秒UPS（不斷電模組），當遇到突發壓降或瞬間斷電時，系統可為設備爭取6秒內等待復電的黃金緩衝時間。若電力恢復，Pump可自動喚醒並回復正常運轉，避免因瞬停造成PUMP停滯、粉塵堆積與轉子卡死等風險，有效提升系統容錯率與製程穩定性。

至於鋒魁同步發表的EcoNanoPur系統，為半導體乾式製程量身打造的廢氣處理解決方案，透過智慧熱回收與動態流體控制，可有效降低NOx、VOC、PM2.5等有害氣體，並提升熱能使用效率、節省超過30%能耗，協助製造業達成環保與成本並重的ESG目標。