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科林研發攜手成大,設半導體製程技術原理與應用課程
2025/11/28 16:41

【財訊快報/記者李純君報導】半導體設備製造與服務供應商科林研發(Lam Research),宣布與成功大學智慧半導體及永續製造學院合作,為碩博士生開設「半導體製程技術原理與應用」課程。
「半導體製程技術原理與應用」課程由科林研發台灣區總經理郭偉毅與成功大學智慧半導體及永續製造學院的半導體製程學位學程的授課師資共同推動,藉由教學授課促進產學交流,展現雙方的緊密合作。課程內容聚焦於半導體製造的關鍵技術,除介紹電漿蝕刻的基本概念與應用外,也協助學生掌握微影製程圖案轉移與高深寬比結構製造的核心原理,同時更探討晶圓表面污染控制等化學清洗的重要性。此外,課程也強調介電質與金屬薄膜在晶片製造中的關鍵角色與挑戰,並講解電漿增強式化學沉積(PECVD)、原子層沉積(ALD)及金屬化學沉積(Thermal Metal CVD)等鍍膜技術。
科林研發延續與成功大學的長期合作,包括科林論文獎、傑出科技獎學金計畫、學長姐職涯講座、Lam Day、職業生涯教練計畫與產業講座等活動,此課程象徵科林研發在培育未來半導體人才上,正式將產業專業知識導入台灣高等教育體系的重要一步。
科林研發台灣區總經理郭偉毅表示:「科林研發一向高度重視半導體人才的培育並積極推動產學合作。透過讓學生在學習階段接觸頂尖技術與產業趨勢,希望為培養下一代半導體專業人才提供最大的幫助。」
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