- 華懋 揮發氣體設備第一把交椅 沒有它的設備，半導體廠都要停工
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只要揮發性有機化合物(VOCs)的排放沒有達到環保署的要求，二四小時內沒有修復，半導體廠就要停工！」即將於十一月掛牌上市的揮發性氣體設備廠華懋(5292)，對半導體產業鏈就是這樣一個關鍵且不可或缺的存在。從一九九一年台積電(2330)二廠時期就成為護國神山的第一期會員至今，董事長鄭石治自豪的說，華懋應是全球最多聚焦在ＩＣ產業的揮發性氣體設備廠。除了台積電外，包括英特爾、三星、聯電…等龍頭大廠都是它的客戶。
股本僅三億元的小廠華懋，究竟如何獲得台積電青睞，成為三十年來不變的重要設備供應商？話說從頭，以冷凍空調機械專業起家的鄭石治，一九九一年碰上台積電二廠的冷凝系統故障，一位股東來問華懋能不能幫忙做，沒想到華懋不僅能做，還做得非常好，不僅成功解決台積電二廠的冷凝系統問題，甚至將原本都被有機氣體腐蝕的銅鋁冷卻板，主動修改成不鏽鋼材質，改良後的效果優於預期，自此華懋就與台積電結下不解之緣。
代理西部技研握關鍵技術
其實，在成功救急台積電二廠冷凝系統之前，華懋剛成立不到半年，當時日本西部技研(Seibu Giken)公司計畫在台灣推廣「陶瓷纖維基材吸附除濕輪」，鄭石治考量當時公司仍小，第一時間沒有理會，後來工研院能礦所蔡尤溪博士自美國柏克萊大學取得學位回台後，剛好要做吸附除濕的研究而找上華懋，經蔡尤溪博士認證日本西部吸附除濕產品技術在全球首屈一指，自此牽起華懋代理西部技研吸附除濕產品在台灣銷售的大門，而也正因為有了西部的吸附除濕技術當後盾，華懋後來才得以跨入半導體VOCs的設備開發，並在一九九八年為台積電打造第一套VOCs沸石濃縮轉輪吸脫附系統，正式成為台積電VOCs防治污染設備供應商，之後每一次台積電的建廠工程，就都少不了華懋，時至今日，華懋和台積電已並肩走過三十個年頭。
鄭石治坦言，「當時沒想到台積電會發展成現在這個樣子，華懋一間小公司能得到台積電的肯定，也真的花了很多的功夫，為求有機氣體不外洩，台積電對於每台設備焊接處的起頭收尾，極小細微處都有一定的要求，不通過就要整個剷掉重做，甚至，每台設備都要根據客戶的產能利用率變動，設計控制沸石轉輪的風速，隨時幫助客戶節省耗能」。
全球三大供應商技術寡占
就這樣在台積電的嚴格要求下，華懋站在巨人的肩膀上跟著茁壯，訂單跟著手到擒來，包括湯淺電池、新加坡Global Foundries等大廠，都是第一次來華懋看完廠，就下訂單，近幾年華懋營運更隨著半導體ＩＣ大廠的積極擴產，營運水漲船高。
總計至今，華懋在國內外已經累積超過九六二套的出貨實績，占台灣廢棄處理設備市場的七五％以上，在半導體及光電高科技產業的「VOCs吸附淨化／燃燒系統」設備市占率更是超過九成。
「VOCs是很專業的領域，大公司不想做，小公司沒技術不會做」，鄭石治說，因為很專門，進入門檻高，才選擇這個行業。而能以沸石濃縮轉輪加直燃式或蓄熱式焚化爐建置VOCs汙染防治系統的廠家，全球也只有三大供應商，華懋、日本Nichias是其中兩大翹楚。
華懋研發中心技術總監扶亞民解釋，要做到半導體有機氣體零排放，設備特點就是要大風量、排放低濃度，其中，生產線的風量可大到每小時十萬個立方米，可以想像那煙囪有多大，而要處理如此大的風量，會相當耗能，這時就要用特殊技術將風量濃縮到十五分之一或二十分之一，耗能就可大幅降低，這濃縮的技術就是靠沸石轉輪，而沸石轉輪要運作到九九％的去除效率，就要靠系統廠商的調校及設計，這就是華懋的能耐所在。華懋VOCs設備的去化效率從單轉輪的九五％目前已提升到雙轉輪的九九．五％，鄭石治說，全世界針對VOCs排放規定最嚴格的就是台灣及美國，而華懋的設備都是符合全世界環保法規。
以往，國內環保法規針對半導體產業要求有機氣體的去除效率僅有九○％ppm(百萬分之一)，今年五月，環保署修訂最新「半導體製造業空氣汙染管制及排放標準」，規範既存製程揮發性有機物去除率仍可維持在九○％ppm，但新設製程要求揮發性有機物去除率要達到九五％ppm以上，這個法規的變動，對華懋就是很大的商機。
環保法規趨嚴助攻營運
扶亞民說，這很像汽車的換車潮，原本廠家的設備是符合九○％ppm的規範，華懋會做九三％或九四％給客戶，但之後客戶新建的廠一定要換設備，舊的廠也會有換機潮出現，這個環保法規對華懋的營運就是一個助力。若加上VOCs設備平均每十五年一個壽命循環就必須更換來看，華懋每年保守就有四○∼五○套的更換需求。
再者，今年環保署亦規範，除了大型半導體公司外，過去不受規範的中、小型公司，VOCs排放量也將受嚴格管制，以前沒有法規規範，業者可以不做，現在則是強迫要做，這都是華懋的新生意。
目前，VOCs設備占華懋營收高達九成，過去三年，在全球半導體大廠積極擴建產能助攻下，華懋每年營收都成長三成以上，二○二一、二二年ＥＰＳ分別達五．四二元及七．九元，展望今年，上半年每股盈餘已達四．七二元，公司表示，目前在手訂單高達二○億元，以下半年營運往往優於上半年來看，今年營運有望再寫下歷史新高。
除了VOCs設備外，冷凍系統專業起家的華懋，這二年也積極投入鋰電池製程必要的特殊乾燥房與節能系統開發，甚至已開發出超低露點可達負七十度的除濕機，除了已取得比亞迪、台灣輝能的訂單外，台灣做鋰電池的廠商，高達六成的乾燥廠房環境都是華懋做的。
扶亞民說，鋰電池生產過程中，需要很低的濕度，尤其在做充填的時候，環境要做到負四十度甚至是負六十度，這樣的環境不會結露、水氣不會進去，做出來的電池才有品質。隨著輝能宣布赴法斥資大規模建廠，華懋取得訂單也指日可待，未來有望成為繼VOCs設備之後，助攻營運成長的第二支箭！
